<section>
Устройство напыления образцов Leica EM ACE600
Система вакуумного нанесения проводящих покрытий Leica ACE600 позволяет подготовить образцы для улучшения их проводимости и получения изображений высокого разрешения для исследования методами электронной микроскопии.
Непроводящие материалы или образцы, чувствительные к электронному лучу, могут подвергаться различным артефактам под воздействием луча, таким как трещины, испарение и деградация материала.
Тонкие гладкие покрытия реализуются методами магнетронного напыления, электронным лучем и испарением углеродной нити на поверхность непроводящих и чувствительных образцов.
Проводящий слой позволяет стекать заряду под электронным пучком в камере сканирующего микроскопа и избегать деградации исследуемого объекта в камере сканирующего электронного микроскопа.
Электронно-лучевое напыление (e-beam) предпочтительно для нанесения тонких металлических покрытий, таких как золото или платина, на образцы в микроэлектронике и нанотехнологиях. E-beam метод позволяет получать очень тонкий и равномерный слой металла, что идеально подходит для детализированного изучения микроструктур.
Углеродное покрытие часто используется для биологических образцов, таких как ткани, клетки и микроорганизмы, а также для органических полимеров. Углерод создает очень тонкую и однородную пленку, которая минимально влияет на структуру образца и предотвращает накопление заряда без значительного воздействия на массу или геометрию образца.
</section>
<section>
<slider>
</slider>
</section>
<section>
Магнетронное распыление, в свою очередь, эффективно для нанесения разнообразных металлов и оксидов на более широкий спектр образцов, включая полимеры, керамику и стекло. Этот метод позволяет равномерно покрывать большие и неровные поверхности для подготовки биологических образцов и материалов с пористой структурой. Такое покрытие помогает улучшить проводимость и уменьшить накопление зарядов, обеспечивая четкость и контрастность изображений в СЭМ.
Leica ACE600 оснащается одновременно несколькими источниками напыления.
Сменные мишени для напыления различных металлов (Au, Au/Pd, Pt, Ag, Cr, Ir, W, Ti) и углеродной нити наносятся магнетронным методам напыления, электронным лучем и термическим испарением в вакууме (sputtering, e-beam, carbon thread, carbon rod).
Для задач просвечивающей электронной микроскопии (TEM) ACE 600 используется для нанесения покрытий на сеточки, а также обработки сеточек тлеющим разрядом для гидрофилизации поверхности.
Напыление, cнижение зарядки образца, улучшение контраста изображений, увеличение теплопроводности и защита образца от повреждений электронным/ионным пучком в процессе исследований.
Доступны различные опции, такие как кварцевый сенсор для измерения толщины напыления, планетарное вращение стола, затенение источника.
</section>
<section>
<slider>
</slider>
</section>
<section>
Система полностью автоматизирована и обеспечивает самую высокую воспроизводимость результатов среди аналогичных приборов. AСE 600 отличают эргономичность и простота использования.
Преимущества:
- Одновременная установка двух источников напыления
- Сменные головки для напыления различных металлов (Au, Au/Pd, Pt, Ag, Cr, Ir, W, Ti) и углерода, различные способы напыления (Sputtering, E-beam, carbon thread, carbon rod)
- Возможность нанесения подложек на электронно-микроскопические сеточки, а также обработка сеточек тлеющим разрядом для гидрофилизации поверхности
- Снижение зарядки образца, улучшение контраста изображений, увеличение теплопроводности и защита образца от повреждений электронным/ионным пучком в процессе исследований
- Доступны различные опции, такие как измерение толщины напыления, планетарное вращение и др.
- Полная автоматизация и высокая воспроизводимость результатов
- Эргономичность и простота использования
</section>
<section>
Дооснащение
Возможность дооснащения криогенным модулем для работы с замороженными образцами:
- Напыление при криогенных температурах
- Сублимационная сушка
- Приготовление сколов
- Совместимость с системой трансфера образцов VCT500
</section>
<section>
<slider>
</slider>
</section>
